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半导体特气检漏仪(自动吸引式)XP-703D
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产品名称:
半导体特气检漏仪(自动吸引式)XP-703D
产品型号:
XP-703D
产品厂商:
日本新宇宙
产品文档:
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简单介绍
半导体特气检漏仪(自动吸引式)XP-703D
特点:
*适合于检测半导体特气的微量泄漏。
采用声光报警。
半导体特气检漏仪(自动吸引式)XP-703D的详细介绍
半导体特气检漏仪(自动吸引式)XP-703D
型 号 |
XP-703D
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检测对象气体
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半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)
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检测原理
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专线型半导体式
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采样方式
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自动吸引式
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可检测浓度
(单位:ppm)
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砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
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检测表示
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蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
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应答速度
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10秒以内
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